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碳化钨料钵介绍离子注入技术的特征

2025-04-28    来源:    作者:佚名  浏览次数:156
碳化钨料钵介绍离子注入技术的特征:

离子注入技术是将注人元素的原子电离成离子,在电场中加速获得较高速度后射人放在真空靶室中的工件表面的种表面处理技术。由于被注人离子是以很高的速度强行注人的,所以其不受基体金属中的扩散速率以及固溶度的限制,可获得高度过饱和固溶体、亚稳定相、非晶态和平衡合金等不同组织结构形式,大大改善了工件的使用性能。离子注人已在表面非晶化、表面冶金、表面改性和离子与材料表面相互作用等方面取得了可喜的研究成果。

离子注入技术的特征

①离子注人法不同于任何热扩散方法,可注人任何元素,且不受固溶度和扩散系数的影响,因此用这种方法可能获得不同于平衡结构的特殊物质,是开发新型材料的非常独特的方法。
②离子注人温度和注人后的温度可以任意控制,且在真空中进行,不氧化、不变形、不发生退火软化、注人层薄、工件尺寸基本不变、表面粗糙度也般无变化,可作为最终工艺。
③可控性和重复性好,通过改变离子源和加速器能量,可以调整离子注人深度和分布;通过可控扫描机构,不仅可实现在较大面积上的均匀化,而且可以在很小范围内进行局部改性。
④可获得两层或两层以上性能不同的复合材料,复合层不易脱落。
但从目前的技术水平看,离子注人技术还存在一一些缺点,如注人层薄(<1 pum), 离子只能直线行进、不能绕行,对于复杂的和有内孔的零件不能进行离子注人,设备造价高,所以应用还不广泛。
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